Katup Gas Pemantik Satu Inci Kemurnian Ultra-Tinggi untuk Pabrik Semikonduktor dan Laboratorium Analitik dengan Permukaan Elektropolishing dan Pemantauan Partikulat

Direkayasa secara presisi untuk lingkungan yang sensitif terhadap kontaminasi, partikel ini dikontrol katup gas ringan satu inci memastikan integritas dalam sistem distribusi gas yang kritis. Menampilkan baja tahan karat 316L-VAR dengan finishing yang dipoles elektro <0,5 Ra µm, ini katup gas kemurnian tinggi mencapai standar partikulat Kelas 1/ISO 2 untuk gas proses semikonduktor. Desain segel kerucut yang menyelaraskan sendiri menghilangkan kontak logam-ke-logam, mencegah pembentukan partikel selama 100.000+ aktuasi. Sebagai katup gas laboratorium, ia menggabungkan segel wajah gaya VCR untuk integritas kedap helium hingga 1x10⁻⁹ atm-cc/detik He, menjaga kemurnian tingkat ppb untuk gas khusus seperti arsin dan silana. Segel batang PTFE yang tidak rontok dan konfigurasi tanpa kaki mati memenuhi standar SEMI F72. Termasuk port pemantauan partikulat integral untuk verifikasi kepatuhan ISO 14644-1 Kelas 3 di tempat selama pemasangan.

Poin-poin Penting:
✓ Kebersihan Skala Nano: <5 particles>0,1μm per liter (per IEST RP CC001.6)
✓ Penyegelan Kedap Gelembung: Laju kebocoran helium 1x10⁻⁹ atm-cc/detik
✓ Imunitas Korosi: Pasivasi per metode asam nitrat ASTM A967
✓ Operasi Bebas Getaran: Desain batang anti-resonansi
✓ Terbukti di Pabrik: Sesuai SEMI F72 katup gas laboratorium

Skenario Aplikasi:
Di ruang bersih semikonduktor, teknisi memasang katup menggunakan penghitung partikel untuk memverifikasi nol kontaminasi selama komisioning saluran gas fabrikasi chip 5nm.

FAQ:

T: Sertifikasi partikulat apa yang disertakan dengan katup gas kemurnian tinggi ini?
J: Laporan IEST-CC0016 Kelas 1 dengan data distribusi partikel 0,1-5,0μm.

T: Apakah katup gas laboratorium Anda kompatibel dengan dopan beracun?
J: Ya, dirancang untuk gas SEMI S2 Kategori 1 dengan kompatibilitas material penuh.

T: Bisakah saya mengintegrasikan pemantauan partikulat tanpa gangguan proses?
J: Ya, port sampel memungkinkan verifikasi di tempat yang sesuai dengan ISO 14644-1.

T: Bagaimana kinerja pelepasan gas?
J: <1x10⁻⁹ g/cm²/detik TML/CVCM per NASA-STD-6001B.

T: Apakah Anda menyediakan protokol kontrol kontaminasi pemasangan?
J: Kit pemasangan yang sesuai dengan ISO 14644-5 yang terperinci tersedia.